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Scanning Electron Microscope

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用語解説

電子顕微鏡の一種である、走査電子顕微鏡のこと。対象物に電子ビーム(細く絞った電子線)を照射し、対象物の原子から放出された「2次電子」や、照射した電子線が対象物の内部で進行方向を変えて放出された「反射電子」などを検出することで、対象物を観察する。対象物の表面の立体構造を高感度に観察できるという特長があるため、微細化が進む半導体部品の品質検査などに利用されている。

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