2001年10月、（株）日立製作所の計測器グループ・半導体製造装置グループ、およびハイテク関連専門商社の日製産業（株）が事業統合し、ナノテク事業において“開発から製造・販売・サービス”の一貫体制を確立しました。
ハイテク・ソリューション事業におけるグローバルトップをめざします。
当社は〈最先端を、最前線へ。〉というスローガンのもと、“旬な最先端技術”を“世界の最前線のリードユーザ”に提供しています。当社が提供する技術・製品群はあらゆる技術領域の集大成です。機械、電気、電子、情報、物理、化学、生物などさまざまなバックグラウンドを持つエンジニアが活躍できるフィールドがあり、好奇心とモノづくりの意欲に溢れる方を積極的に受け入れています。
![[画像]株式会社日立ハイテクノロジーズの概要](images/img01.jpg)
当社連結従業員数
10,477人
当社海外拠点数
29カ国66カ所
9,431億円
当社連結売上高（07年度実績）
0.0000001mm
当社透過電子顕微鏡（TEM）の分解能
磁気ヘッド検査時の非繰り返し位置精度
1nm以下
| 設立年月日 | 1947年4月12日（統合・社名変更2001年10月1日） |
|---|---|
| 資本金 | 79億3,848万円 |
| 代表執行役 執行役社長兼取締役 |
大林 秀仁 |
| 所在地 |
|
| 従業員数 （2008年3月末） |
10,477人（連結）、4,582人（単独） |
電子線を用いて、半導体の微細パターンの寸法計測を行う高分解能測長SEM。世界トップシェアを誇っています。
![[画像]高分解能測長SEM](images/img02.jpg)
ウェーハ表面の異物・欠陥を、SEM像を元に自動分類する装置。高コントラスト・高解像度画像による高欠陥検出率と高速画像処理による高スループットを実現しています。
![[画像]ディフェクトレビューSEM](images/img03.jpg)
レーザー光を使用してウェーハ上の微小異物やパターン欠陥を高速で検査する装置。高性能光学技術と高速画像処理技術を駆使し、高いパフォーマンスを実現します。
![[画像]光学式ウェーハ検査装置](images/img04.jpg)
プラズマを利用して気体の化学反応を利用し、半導体デバイスの製造に不可欠なゲート、配線、層間絶縁膜のドライエッチング加工を行う装置です。高度なプラズマ制御技術を有し、高信頼性、高生産性に定評があります。
![[画像]プラズマエッチング装置](images/img05.jpg)
半導体をはじめとする先端デバイスの極微小領域の構造解析や元素分析を行う装置。サブナノメータ以下での測長や極微量元素の検出において世界最高レベルの性能を有します。
![[画像]走査透過電子顕微鏡](images/img06.jpg)
液晶セル工程で製造された液晶パネルの端子に駆動用ICチップや制御基板を全自動で接合する装置。品種変更時間の大幅短縮と使用する接合部材などの材料費の大幅節減を実現した高速・高精度・高機能の生産設備。
![[画像]液晶パネルモジュール組立システム](images/img07.jpg)
ミラー光学系を使用した照度分布ムラの少ない液晶用プロキシミティアライナです。ミクロとマクロの世界を同時に実現。数トンのものを1m／秒の高速で動かし、0.5秒で確実に停止。そこには電子回路、メカトロニクス、制御技術があります。
![[画像]液晶大型ガラス基板露光装置](images/img08.jpg)
超高速記録密度ディスクの突起および電磁変換特性を高精度で検査する装置。この技術は、磁気ディスクの電磁変換特性測定に採用されており、高周波数でテストデータの書込み・読出しを行いディスクの基本性能測定と欠陥弁別測定に欠かせない技術です。
![[画像]ディスクテストシステム](images/img09.jpg)
がん、感染症、生活習慣病を含めたさまざまな疾患の早期発見に欠かすことのできない血液検査。日立血液自動分析装置は発売以来、25年以上にわたって世界の臨床検査市場のトップブランドとして活躍しています。
![[画像]臨床検査用血液自動分析装置](images/img10.jpg)
マルチキャピラリを採用したDNA塩基配列解析装置で、最大384×16サンプルの自動連続解析が可能です。先進バイオ企業のAB（Applied Biosystems）社との戦略的パートナーシップにより製品化を行っています。
![[画像]DNAシーケンサ](images/img11.jpg)
液体クロマトグラフ（HPLC）と質量分析装置（MS）を一体化した最先端のシステムです。病気の原因解明や創薬開発等への貢献が期待されています。
![[画像]液体クロマトグラフ質量分析計“NanoFrontier”](images/img12.jpg)
検査室で行う開栓、分注、閉栓、バーコードラベル貼付け、検体分類等の前処理作業を非同期自律分散システムで自動化したシステム。検体搬送検査システムとともに全世界で検査室の合理化に貢献しています。
![[画像]検体前処理システム](images/img13.jpg)
製品化に直結するコア技術の開発・先行研究
トップシェア製品を生み出すコア技術の開発をミッションとして、電子線・イオンビーム制御技術、光学技術、プラズマ制御技術、バイオメディカル技術、システム技術などの先行技術開発を行っています。
![[画像]設計開発環境の一例](images/img_rd.jpg)
設計開発環境の一例（2005年度第18回日経ニューオフィス賞受賞）
製品開発を担当する事業所、先行コア技術開発を担当する研究開発本部、将来、共通技術開発を担当する日立製作所の各研究所が緊密な連携体制を組んでいます。一方で、各分野の世界トップ企業とのアライアンス、多数の研究機関や大学との共同研究も積極的に行い、またいくつもの国家プロジェクトへ参画しています。
