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用語解説

物体の表面を膜で覆うこと。コーティング。物体を磨耗(まもう)や衝突から保護したり、熱や電流から遮蔽(しゃへい)したりする目的で行う。
セラミックでの成膜に限定すると、セラミックを原子・分子レベルまで分解してから、物体の表面に堆積(たいせき)させる方法や、セラミックを溶かしながら物体に吹き付ける方法が一般的である。近年は、「エアロゾルデポジション法」と呼ばれる、セラミック粒子を溶かさずそのまま物体に吹き付ける手法も研究されている。
セラミック成膜の適用例としては、切削工具の保護やガスタービンの耐熱、電子デバイスの絶縁などが挙げられる。

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