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用語解説

半導体の製造工程で使用される、ウェハ上の欠陥の観察や分類を行うためのSEM。光学式顕微鏡の欠陥検査装置で取得した欠陥の位置情報を基に、ウェハ上の欠陥画像を自動収集する機能や、収集した画像を欠陥の種類ごとに自動分類する機能を搭載している。

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