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用語解説

セラミックの成膜手法の一つ。1 µm程度の微細なセラミック粒子とガスの混合物(エアロゾル)を、150~400 m/秒程度の速度で物体に吹き付けることで膜を作る。
一般的なセラミック成膜では、膜の原料となるセラミック材や成膜対象を高温に保つ必要がある。一方、エアロゾルデポジション法では、粒子を高速で物体に衝突させることによって、その衝突エネルギーで膜を生成するため、常温で成膜できる。そのため、熱によって成膜対象が変質するおそれがないという利点がある。
近年、実用化に向けた低コスト化を課題に、研究が進められている。

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