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TEM

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用語解説

透過型電子顕微鏡。薄膜試料に電子線を透過させ、その際に試料中で原子により散乱・回折された電子を電子線回折パターンまたは透過電子顕微鏡像(TEM像)として得ることにより、物質の内部構造を観察できる。

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