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EBSD

Electron Back Scatter Diffraction Patterns

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用語解説

走査電子顕微鏡(SEM)による結晶解析の手法として、エレクトロンチャネリングパターン(ECP)法が知られている。この原理を応用してより微小なサブミクロン領域の結晶解析を行うことができる手法が、EBSD(Electron Back Scatter Diffraction Patterns)法である。

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