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本製品は2010年6月末日付で昭和電工(株)に承継されました。
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PFC分解装置

エッチング工程から排出されるPFCを高効率で分解

 半導体や液晶の製造プロセスからは多くの物質が排出されます。近年、環境保全の観点から、地球温暖化係数の高いPFCなどのガスの排出削減が求められてきています。
 日立では、独自の触媒により、触媒式PFC分解装置「HICDS」を開発。エッチング工程から排出されるPFCなどのガスを、触媒方式ならではの高い安全性・経済性を生かし効率よく分解、環境保全に貢献しています。この装置は発売開始以来、多くのユーザーに支持をいただき、2005年末現在300台以上の実績を有しております。

HICDS(Hitachi Catalystic Decomposion System)
HICDS(Hitachi Catalystic Decomposion System)