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日立ナノインプリントソリューション

Hitachi

熱ナノインプリントによる転写例

樹脂薄膜上への転写

写真:シリコンウェハやガラス基板上の樹脂薄膜への転写

シート状への直接転写

写真:バルク上、長尺シート状への直接転写

転写例1

転写例写真:基板:シリコン、樹脂:PS、転写パターン:ピラー

基板:ガラス
樹脂:PS
転写パターン:ドット

転写例2

転写例写真:基板:シリコン、樹脂:PS、転写パターン:ピラー

基板:シリコン
樹脂:PS
転写パターン:ピラー

光ナノインプリントによる転写例

転写例3

転写例写真:基板:シリコン、樹脂:光硬化性樹脂、転写パターン:ホール

基板:シリコン
樹脂:光硬化性樹脂
転写パターン:ホール

転写例4

転写例写真:基板:シリコン、樹脂:光硬化性樹脂、転写パターン:モスアイ

基板:シリコン
樹脂:光硬化性樹脂
転写パターン:モスアイ

シートナノインプリントによる転写例

転写例5

転写例写真:シート:ポリスチレン(長さ15m, 幅200mm)、転写パターン:ドット

シート:ポリスチレン(長さ15m, 幅200mm)
転写パターン:ドット

「NEDO,ナノテク・先端部材実用化研究開発成果」

小型シートナノインプリントによる転写例

転写例6

転写例写真:シート:ポリスチレン、転写パターン:ドット

シート:ポリスチレン
転写パターン:ドット