［熱ナノインプリント装置］
［光ナノインプリント装置］
（製品化準備中）
［シートナノインプリント装置］
「NEDO，ナノテク・先端部材実用化研究開発成果
当社ではナノインプリント装置（熱式、光式、熱シート方式）を開発し、受注生産・販売しています。お客様のニーズに応えカスタマイズ可能な拡張性の高いシステム構成となっています。
熱ナノインプリント装置
熱ナノインプリント装置は、被転写材料である熱可塑性樹脂をガラス転移温度以上まで加熱し、軟化させた後、ナノスタンパを押し付け、冷却することで微細パターンを転写いたします。様々な材料に微細パターンを形成することが可能です。 日立では、R&Dから準量産機試作、量産に対応致します。
| 仕 様 | |
|---|---|
| 本体寸法 | 970(W)×1600(H)×600(D)mm 約800kg(重量) |
| ワーク寸法 | 直径 150mm |
| 真空度 | 1.33kPa（10Torr以下） |
| プレス推力 | 最大 98kN（10t） |
| 加熱温度 | 室温 〜 最大 300°C |
| 加熱／冷却速度 | 2.5min（60 → 180°C） 1.5min（180 → 60°C） |
| 被転写材 | 熱可塑性樹脂（PS、PMMA、PC、COP等） 熱硬化性樹脂 |
※お客様のご要望に応じてカスタマイズ対応いたします。
［大型機］
［中型機］
［小型機］
光ナノインプリント装置
光ナノインプリント装置は、樹脂材料に光硬化性樹脂を使用し、ナノスタンパをプレスし、紫外光(UV光)を照射することで樹脂を硬化させ転写します。ナノレベルの高精度加工、高スループットが実現可能です。
| 仕 様 | |
|---|---|
| ワーク寸法 | 直径 50mm、100mm、150mm |
| レジスト塗布 | インクジェット方式 |
| 主波長 | 365nm |
| クリーン度 | クラス 100以下 |
| 被転写材 | 光硬化性樹脂 |
※お客様のご要望に応じてカスタマイズ対応いたします。
シートナノインプリント装置(試作装置)
シートナノインプリント装置は、被転写体となるフィルムを、上下のベルト状に並べたナノモールドの間に挟んで搬送するもので、フィルムの加熱、パターン転写時の加圧、フィルムとナノモールドの剥離などナノインプリント工程の連続処理を可能とするもので、大面積への転写と生産性の向上を実現することができます。
「NEDO，ナノテク・先端部材実用化研究開発成果」
| 仕 様 | |
|---|---|
| 本体寸法 | 2900(W)×2100(H)×1400(D)mm 約3500kg(重量) |
| 有効転写幅 | ≦ 200mm |
| 転写温度 | 〜 180°C |
| シート送り速度 | 0.3 〜 9.0m／分 |
| プレス推力 | ≦ 2.0Mpa |
※お客様のご要望に応じてカスタマイズ対応いたします。
小型シートナノインプリント装置は、試作機の基本部分をベースにシンプルな機構を採用。小型、軽量化で研究・開発に適した装置仕様を実現いたしました。
| 仕 様 | |
|---|---|
| 本体寸法 | 860(W)×800(H)×720(D)mm 約270kg(重量) |
| 有効転写幅 | ≦ 40mm |
| 転写温度 | 〜 200°C |
| シート送り速度 | 〜 約10m／分 |
| プレス推力 | 〜 3.1kN (320kg) |
※お客様のご要望に応じてカスタマイズ対応いたします。
