日立は、計測・加工・材料技術などの総合力を駆使し、ナノテクノロジーの研究・開発に取り組み、様々なソリューションを提供しています。ナノテクノロジーで、今最も実用化に近いものとして注目を集めているのがナノインプリント技術です。これは、微細な凹凸パターンを施したスタンパを樹脂薄膜、あるいはフィルム（バルク）状の被転写材に押し当て、スタンパのパターンを転写する加工技術です。
日立グループでは、ナノインプリント装置を中心に、スタンパなどの部材、及び技術サポート体制を整え、ナノインプリントにおけるトータルソリューションサービスを展開します。
大面積・多段形状のSiナノスタンパの作製
セルプロジェクション方式のEB描画技術による、微細構造パターンの大面積化が可能です。さらに、高精度な位置合わせと深さ制御技術による多段構造のSiナノスタンパを実現しました。
[例] 8段形状、Ø50nmホール（パターンエリア120×120mm□） など
生産性を約100倍向上させるシートナノインプリント技術を開発
ベルト状ナノモールドによって、熱可塑性フィルムに微細な構造を連続的に形成します。
本技術は、熱ナノインプリントプロセスの「加熱-加圧-冷却-剥離」の各工程を連続化することが可能となり、従来の平行平板型に比べ約100倍の高スループット化を達成しました。
「NEDO，ナノテク・先端部材実用化研究開発成果」
