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環境適合製品リスト・データシート

Hitachi

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環境適合製品

LE0150S

  • 当社独自開発による機能と高圧水銀ランプを搭載した高照度の露光光源を実現 ・第7.5世代超大型ガラス基板(1950mm×2250mm)のワークに対応可能な高スループットを実現
  • 最新の技術を使って再資源化可能部品を多数採用するとともに、ワークサイズの大型化による装置容量の増大を抑えた設計を実現(従来機種(LE0100S)・対応ワークサイズ比)
  • 使用材料の見直しにより、金属材料のリサイクル可能率を従来機60.5%から98.5%に大幅向上(従来機種(LE0100S)・対応ワークサイズ比)

製品の画像

製品データ
No. 環境情報提供項目 単位 B7R4-06-14
1 型式 LE0150S
2 外形寸法【幅(W)×奥行き(D)×高さ(H)】 (実寸法) (mm) 10600×10910×4500
(対ワークサイズ比:参考) (mm) 9930×10220×4220
3 質量 (実質量寸) (kg) 90000
(対ワークサイズ比:参考) (kg) 84350
4 使用時消費電力 (実消費電力) (kW) 90
(対ワークサイズ比:参考) (kW) 84.3
5 待機時消費電力 (kW)    ―
6 製品の主要素材構成 鉄および鉄合金(含むステンレス)(カッコ内は対ワークサイズ比:参考) (kg) 72450(67900)
銅および銅合金(カッコ内:同上) (kg) 2700(2530)
アルミニュウム(カッコ内:同上) (kg) 6750(6330)
プラスチック(カッコ内:同上) (kg) 900(840)
ガラス (kg) 0
その他(カッコ内:同上) (kg) 225(210)
7 再生プラスチック使用 使用材料名    ―
使用量 (kg) 0
8 取扱説明書 紙使用量 (kg) 2.5
再生紙の使用
9 使用電池 種類名 リチウム
個数 (個) 3
10 リサイクル可能率 (%) 98.5
11 包装材の主要素材 発泡スチロール (kg) 3.5
その他プラスチック (kg) 276.5
(kg) 0
木材 (kg) 18449
その他 (kg) 1
12 包装材の再生材使用量 発泡スチロール (kg) 1.8
その他プラスチック (kg) 0
(kg) 0
木材 (kg) 0
その他 (kg) 0.9
13 鉛はんだ 使用量(カッコ内は対ワークサイズ比:参考) (g) 1148(1075)
14 塩ビ(塩化ビニール) 使用量(カッコ内はワークサイズ比:参考) (kg) 75(70)
15 プラスチック使用難燃材 名称    ―
使用部品名    ―
質量 (kg) 0
16 使用時の騒音 (dB)    ―
17 発売時期 年、月 2006年3月
18 特記事項 1)2009/5/22更新 
2)予告なく変更する場合があります。 
3)項番6の「その他」には情報未入手の素材も含む。

ファクターX

計算値
製品 計算値(基準年と比較した値)
温暖化防止 資源
大型ガラス基板露光装置 1.1 1.6

基準機種の画像
基準機種:LE0100S

製品の画像
評価機種:LE0150S

ファクターX
項目/製品 単位 基準 評価
製造年 2004 2006
機種名(型式) LE0100S LE0150S
製品寿命(設定使用時間)
注:保証期間を意味するものではありません。
(年) 10 10
製品機能 ワークサイズ (u) 4.11 4.38
処理枚数 (枚/時) 60 50
リサイクル率 (%) 60.5 98.5
温暖化ガス排出量 (kg/台) 454719 580565.5
温暖化防止効率 0.33 0.37
資源価値係数 1 1
新規に使用する資源量 (kg) 58649.5 71443.1
廃棄される資源量 (kg) 23700 1260
資源効率 1.81 2.97

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大型ガラス基板露光装置は、環境負荷の少ない「環境情報表示制度」に準じた製品です。

製品についてのお問い合わせ

(株)日立ハイテクノロジーズ FPD・HD装置営業本部 事業戦略部
TEL:03-3504-3064 FAX:03-3504-5946