環境適合製品
| No. | 環境情報提供項目 | 単位 | B7R4-04-20 | |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 型式 | － | I-6300 | |
| 2 | 装置基本性能 | 検査感度 | (nm) | 50 |
| スループット | (cm²/hr) | 60 | ||
| 3 | 外形寸法 | （本体+ミニエン)【幅(W)×奥行き(D)×高さ(H)】 | (mm) | 1,434×3,185×2,002 |
| （操作制御ラック)【幅(W)×奥行き(D)×高さ(H)】 | (mm) | 600×1,410×1,850 | ||
| （サブラック)【幅(W)×奥行き(D)×高さ(H)】 | (mm) | 535×1,215×1,850 | ||
| （画像処理ラック)【幅(W)×奥行き(D)×高さ(H)】 | (mm) | 850×1,450×1,972 | ||
| （電源部)【幅(W)×奥行き(D)×高さ(H)】 | (mm) | 535×1,170×1,795 | ||
| 4 | 質量 | (kg) | 2,956 | |
| 5 | 使用時消費電力 | (kW) | 9.0 | |
| 6 | 待機時消費電力（処理待ち時） | (kW) | 8.0 | |
| 7 | 製品の主要素材 | 鉄および鉄合金(含むステンレス) | (kg) | 1922 |
| 銅および銅合金 | (kg) | 92 | ||
| アルミニウム | (kg) | 813 | ||
| プラスチック | (kg) | 6 | ||
| ガラス | (kg) | 5 | ||
| その他 | (kg) | 118 | ||
| 8 | 取扱説明書 | 紙使用量 | (kｇ) | 2 |
| 再生紙比率 | (％) | 0 | ||
| 9 | 使用電池 | リチウム電池 | (個) | 2 |
| マンガン乾電池 | (個) | 0 | ||
| ニッカド電池 | (個) | 0 | ||
| 鉛蓄電池 | (個) | 4 | ||
| その他 | (個) | 0 | ||
| 10 | 包装材の主要素材 | 発泡スチロール | (kg) | 6.9 |
| その他プラスチック | (kg) | 1.3 | ||
| 段ボール | (kg) | 38.9 | ||
| 木材 | (kg) | 1103.0 | ||
| その他 | (kg) | 6.4 | ||
| 11 | 包装材の再生材使用量 | 発泡スチロール | (kｇ) | 1.0 |
| その他プラスチック | (kｇ) | 2.0 | ||
| 段ボール | (kｇ) | 14.1 | ||
| 木材 | (kｇ) | 0.0 | ||
| その他 | (kｇ) | 0.0 | ||
| 12 | 使用時の騒音 | (dB) | 75 | |
| 13 | 更新時期 | 年、月 | 2011年10月 | |
| 14 | 注意事項 | ・本データシートは、標準モデルのデータを示しております。 | ||
| ・製品改良のため、使用部品について予告なく変更する場合があります。 | ||||
| ・製品の主要素材の「その他」には、情報未入手の素材も含みます。 | ||||
| 15 | 発売時期 | 年、月 | 2005年2月 | |
| 16 | 特記事項 | ①質量は本体部+ミニエンについて記載 ②ミニエンは2ポートの場合（ロードポートは含みません） |
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日立検査SEM装置 （型式 ： I-6300) I-6300は、環境負荷の少ない「環境情報表示制度」に準じた製品です。
上記の仕様は、製品の改良などのため予告なく変更することがあります。
製品についてのお問い合わせ
(株)日立ハイテクノロジーズ 半導体製造装置営業統括本部 評価装置営業本部
03-3504-6111
